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2018年11月9號,南昌以LED光電產(chǎn)業(yè)為核心的“南昌光谷”招商引資迎來了重大突破:在LED高端核心裝備MOCVD方面,引進(jìn)了中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡稱“中微半導(dǎo)體設(shè)備公司
發(fā)布時間:2019-01-21 點擊次數(shù):336
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MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。MOCVD的優(yōu)點有哪些:1適
發(fā)布時間:2018-11-22 點擊次數(shù):379
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MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統(tǒng)中的晶體生長都是在常壓或低
發(fā)布時間:2020-05-07 點擊次數(shù):392